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內容說明

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內容說明
內容*鄭秀英教授實驗室成功地完成極紫外光(EUV)光敏薄膜材料釋氣定量標竿比較;被進行比較的國際微影研究單位包含美CNSE/SEMATECH、比利時IMEC。
*本研究提出EUV光敏薄膜材料釋氣量與光阻的EUV吸收係數、材料結構呈線性相關。此光化學反應機構用以檢視他人已發表的其它材料釋氣量數據,並得到驗證。
*本文發表在:Journal of Vacuum Science and Technology B 50(5), 051602, P.1-10.
連結http://link.aip.org/link/?JVB/30/051602
檢視圖片鄭秀英老師實驗室
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