G. H. Ho*, Yu-H. Shih, Fu-H. Kang, Jia-C. Hung, Chih-H. Shao, Yu-H. Lai,Photochemistry of photoresists and underlayer materials upon irradiation at 13.5nm,J. Photochem. Photobiol. A: Chem,211,211,pp78-87 (SCI)

學年度	2010
期刊等級	SCI
論文名稱(篇名)	Photochemistry of photoresists and underlayer materials upon irradiation at 13.5nm
期刊名	J. Photochem. Photobiol. A: Chem
卷數	211
期數	211
起頁	78
迄頁	87
全部作者	G. H. Ho*, Yu-H. Shih, Fu-H. Kang, Jia-C. Hung, Chih-H. Shao, Yu-H. Lai
著作人數	6
作者型態	First Author
使用語言	英文
所屬計畫案	NSC 98-2120-M-009-007 and NSC98-2113-M-390-005

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