Method for avoiding carbon and nitrogen contamination of a dielectric insulating layer
| 學年度 | 93 |
|---|---|
| 專利類別 | 發明專利 |
| 專利名稱 | Method for avoiding carbon and nitrogen contamination of a dielectric insulating layer |
| 發表語言 | 英文 |
| 專利編號 | 6821905 B2 |
| 專利國別 | 美國 |
| 西元年月 | 2004-02 |
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